반도체 산업용 이온 주입 솔루션 분야의 선도 공급업체인 엑셀리스 테크놀로지스(Axcelis Technologies, Inc., 나스닥: ACLS)가 세미콘 코리아 2026(SEMICON Korea 2026)에 참가해 자사의 혁신적인 이온 주입기 Purion™ 플랫폼을 선보일 예정이라고 밝혔다. 이번 행사는 2026년 2월 11일부터 13일까지 대한민국 서울 코엑스(COEX) 센터에서 개최된다. 세미콘 코리아는 AI 기반 공정 제어, 첨단 패키징 방법론, 지속 가능한 고효율 제조 시설 운영 등 차세대 반도체 제조를 이끌 핵심 기술 개발 동향을 집중 조명할 예정이다.

엑셀리스는 D522번 부스에 위치할 예정이다. 반도체 제조업체들은 엑셀리스 전시장을 방문해 이온 주입 공정에서 지능형 솔루션을 가속화하고, 기술 및 제조 경쟁력을 크게 향상시키는 최신 제품과 업그레이드를 직접 확인할 수 있다.

행사 주요 내용

• Purion H6™ 소개: 탁월한 순도, 정밀도 및 생산성을 바탕으로 차세대 반도체 소자의 요구 사항을 충족하도록 설계된 엑셀리스의 차세대 고전류 이온 주입기 Purion H6을 소개한다.
• SEMI 테크놀로지 심포지엄(STS) 발표: 애플리케이션 수석 과학자인 이경원 박사가 첨단 소자의 미세화를 위한 이온 주입 기술의 적용(Applications of Ion Implantation Technology for Scaling Down Advanced Devices)을 발표할 예정이다.
  일시: 2월 11일 오후 3시 15분~3시 40분
  장소: 코엑스 3층(남) 컨퍼런스룸 308호

러셀 로우(Russell Low) 엑셀리스 테크놀로지스 사장 겸 최고경영자는 "엑셀리스는 업계를 대표하는 기술 포럼 중 하나인 세미콘 코리아에 참가하게 되어 매우 기쁘게 생각한다. 한국은 우리 회사에 전략적으로 매우 중요한 시장이며, 지속적으로 확대되고 있는 설치 기반과 지원 인프라는 고객 성공에 대한 우리의 확고한 의지를 보여준다. 모든 시장 부문에서 고전류 애플리케이션 전반에 걸친 가장 진보된 공정 요구 사항을 충족하도록 설계된 차세대 Purion H6 고전류 이온 주입기를 포함해, 엑셀리스의 최신 혁신 기술을 소개할 수 있기를 기대한다"고 말했다.